PIDEX

PIDEX steht für "Plasma Interface Diagnostics EXperiment". Wenn ein Plasma in Kontakt mit einer begrenzenden Wand kommt, dann treten an der Schnittstelle zwischen Plasma und Festkörper interessante Phänomene auf. Dies ist in Laborplasmen, die in Vakuumkammern erzeugt werden, in der Regel der Fall. In industriellen Anlagen wird diese Wechselwirkung genutzt, um Oberflächen zu modifizieren, beispielsweise Mikrochips, Solarzellen oder verspiegelte Gläser herzustellen. Solch eine Schnittstelle nennen wir "Plasma Interface".

Die Festkörper-Plasma-Wechselwirkung besser zu verstehen, ist das Ziel der experimentellen Anlage PIDEX. In ihrem Inneren befindet sich eine Anordnung von zwei parallelen Metallplatten, die im Wesentlichen ein Kondensator ist. Mit Hilfe einer hochfrequenten Wechselspannung (13 MHz) kann zwischen den Platten aus dem in der Vakuumkammer stark verdünnten Gas ein Plasma, ein Hochfrequenzplasma, erzeugt werden.

Die Anlage ist mit verschiedenen Diagnostiken ausgestattet, insbesondere mit einer Langmuir-Sonde im Plasma-Volumen und einer kalorimetrischen Sonde, einer Kraftsonde, und einem Gegenfeldanalysator, die in die Elektroden integriert sind.

In der Zukunft werden an dieser Stelle weitere Details veröffentlicht werden.

Publikationen

Titel PIDEX
Untertitel Diagnostik des Plasma Interfaces
Labor Blaues Labor
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