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AG Plasmatechnologie

Institut für Experimentelle und Angewandte Physik
Christian-Albrechts-Universität zu Kiel

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  M. Klette, M. Maas, T. Trottenberg, H. Kersten Directionally resolved measurements of momentum transport in sputter plumes as a critical test for simulations. Journal of Vacuum Science & Technology A. 38, 033013 (2020).
  
  Z. Marvi, E. von Wahl, T. Trottenberg, H. Kersten Spatiotemporal sampling of growing nanoparticles in an acetylene plasma. Journal of Applied Physics. 127, 173301 (2020).
  
  T. Krüger, L. Hansen, H. Kersten Deposition of SiOx thin films using hexamethyldisiloxane in atmospheric pressure plasma enhanced chemical vapour deposition. Journal of Physics: Conference Series. 1492, 012023 (2020).
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